為提高硬度測試的準確性，通常需要對試樣表面進行預處理。雖然對于所有的硬度標尺來說，更精細的表面處理都有助于獲得更為精確和可重復性的測試結果，但在實踐中仍需依據測試結果對試樣表面狀態的敏感性而選擇合適的制備方法，在確保準確性的同時提升檢測效率。 例如，對于布氏和普通洛氏硬度測試，一般進行表面磨光處理即可滿足試樣表面無氧化皮及外來污染物的最低測試要求；
而表面洛氏和維氏硬度標尺對試樣表面狀態較為敏感，一般需要進行拋光處理。
其中顯微硬度測試載荷低，表面存在劃痕和形變時對測試結果均有顯著影響，因此推薦對試樣表面進行精細金相拋光處理。

硬度測試對樣品制備的要求

1、布氏硬度：磨光，平整；
2、洛氏硬度：取決于試驗力。大載荷樣品，細磨光表面就可以達到要求；
3、宏觀維氏：大載荷下細磨光表面就可達到要求，但是推薦在拋光表面上測試；
4、表面洛氏：推薦拋光表面(≤3µm)；
5、顯微維氏/努氏：推薦拋光表面(≤1µm)